PIS624/PIS622纯离子镀膜设备主要是集纯离子镀膜技术(PIC)、高能离子束清洗技术(IONBEAM)和磁控溅射技术(SPUTTER)三种技术融合一体,除了可以镀制常规厚度(1-2μm)、厚膜(6μm),以及超厚(20-25μm)的各种厚度的Ta-C膜层,还可以镀制TiN、TiC、CrN、Cu、Ag、DLC等其他纯金属及金属复合膜层。
设备可适应各种镀膜靶材,无论金属还是介质、化合材料都可以利用溅射工艺进行镀膜及成膜,使膜层具有高致密度、超硬、耐磨损、耐腐蚀等特点。可镀制可编程序控制器(PLC)+触摸屏(HMI)组合电气控制系统,全自动控制。
设备优势:
1、 纯离子镀膜可过滤掉宏观大颗粒,膜层致密、粘附性好;
2、 镀制超厚膜时,沉积速率是传统设备的2.8倍以上,实现快速化镀膜;
3、 设有电磁扫描装置和软件,可定点定时控制等离子体的走向,彻底解决均匀性问题;
4、 优化磁场设计,维护方便;有效水冷设计,靶材可以连续24小时工作;
5、 腔体接口通用尺寸,互换性强,优化升级方便;
6、 友好的人机界面,实时记录工艺数据,利于质量管控、疑难分析、开发新工艺等;
7、 模块化工艺配方,灵活设定子配方和总配方,子配方添加/删减方便,一键式操作即可完成多层工艺配方。
应用领域和范围:
Ø 国 防、军 工、航空、航天、高校及科研院所、3C消费电子行业
Ø 汽车和柴油车发动机关键零部件、纺织行业零部件、高端切削刀具、医疗器械;
Ø 本项目为交钥匙设备,纯源公司提供整套解决方案,包括稳定成熟镀膜配方,设备交接后即可投产;
Ø 真空室尺寸,设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做,外围尺寸根据客户安装场地条件可做调整。